電容薄膜真空計
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摘要
電容薄膜真空計基于彈性薄膜在壓差作用下引發(fā)電容變化的原理，通過檢測電容變化并轉換為標準信號輸出，實現(xiàn)高精度真空測量。該產品具備高精度、高穩(wěn)定性、耐腐蝕、抗干擾強、響應快速等顯著特點，測量與氣體成分無關，且擁有抗過載能力強、受環(huán)境影響小等優(yōu)勢。其類型多樣，接口與輸出豐富，可快速安裝并實現(xiàn)智能化控制。產品廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜等眾多行業(yè)，在關鍵工藝控制中發(fā)揮重要作用。隨著真空技術發(fā)展，未來電容薄膜真空計將朝著更高精度、更寬量程、智能化、小型化與集成化方向持續(xù)演進，以滿足各領域不斷升級的真空測量需求。
產品介紹
型號：CX-CFG500 類型：薄膜電容真空計
適用氣體：不限氣體種類 反應時間：10ms
測量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機*大功耗1.0W
防護等級：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標準 KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
發(fā)展趨勢
隨著真空應用技術的不斷發(fā)展，對電容薄膜真空計的要求也越來越高，未來發(fā)展趨勢包括進一步提高測量精度和穩(wěn)定性、拓展量程范圍、增強智能化功能（如具備自動校準、故障診斷、數據存儲和通信等功能）以及小型化、集成化等，以更好地滿足不同領域的應用需求。
產品特點
高精度測量：±0.25%讀數對測量環(huán)境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數字通訊
2路可設置控制開關
3鍵智能操作
5位LED數字顯示
產品參數
參數 數值
測量范圍 10pa ~ 1.0×10+5 Pa
測量精度 ±0.25 % 讀數
測量重復性 ±0. 1% 全量程
測量分辨率 0.002% 全量程
長期穩(wěn)定性 每年變化不大于滿量程 ±0.5 % （不含環(huán)境變化因素）
溫度補償范圍 -20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C
工作環(huán)境 -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不結露
供電電源 +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC）
電接口插座 D-Sub 15 Pin，公
真空腔體 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa
重量 250g （DN16ISO-KF法蘭）
產品尺寸
產品優(yōu)勢
由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯使得陶瓷薄膜電容規(guī)獲得高穩(wěn)定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜電容規(guī)具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規(guī)對被測量氣體不敏感特點。
應用場景
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